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      什么是低溫壓電掃描臺?

      更新時間:2024-06-27      點擊次數:1293
        低溫壓電掃描臺是一種高精度、高穩定性的精密定位設備,是一種利用壓電材料的逆壓電效應,在低溫環境下進行精密定位與掃描的設備。它能夠在低溫、真空及磁場等*端條件下提供納米級的高精度定位和運動控制,廣泛應用于半導體加工、檢測、高精密測試和操作以及其他真空無磁要求的納米運動控制等領域。
        本公司提供的低溫壓電掃描臺Scanner16-xy的參數:
        1、緊湊的設計,外形尺寸:16 * 16 * 7 mm
        2、超高真空 & 極低溫兼容:2 E-11 mbar & 30 mK
        3、無磁材料 純Ti & BeCu組成,兼容 35 Tesla磁場
        4、高負載:100 g
        5、行程@300 K:30*30 um
        6、空間掃描達到 0.8 nm 分辨率
        低溫壓電掃描臺在半導體加工、檢測、高精密測試和操作等領域有著廣泛的應用。例如,在半導體加工中,它可以實現納米級的精確切割和定位;在半導體檢測中,它可以提供高精度的掃描和測量;在高精密測試和操作中,它可以實現微小尺度的精密操控。
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