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      在選擇壓電載物臺時可先看本文!

      更新時間:2025-08-28      點擊次數(shù):147

      壓電載物臺是一種基于壓電材料逆壓電效應(yīng)實現(xiàn)高精度、高穩(wěn)定性運動控制的精密設(shè)備,廣泛應(yīng)用于顯微操作、半導(dǎo)體檢測、光子對準(zhǔn)、原子力顯微鏡及生物細(xì)胞微操作等領(lǐng)域。其特點有:

      高精度定位:位移精度高,可達納米級甚至亞納米級。

      快速響應(yīng):響應(yīng)速度快,高頻響應(yīng)的壓電驅(qū)動器支持動態(tài)模式,可減少圖像失真。

      無摩擦運動:采用柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu),利用彈性變形實現(xiàn)無摩擦導(dǎo)向,確保運動過程的平穩(wěn)性和重復(fù)性,無需擔(dān)心磨損和潤滑問題。

      多軸運動能力:常見的設(shè)備采用多層壓電陶瓷堆疊結(jié)構(gòu),能夠在 XYZ 三個方向上獨立或聯(lián)動控制,從而實現(xiàn)二維平面掃描或三維空間定位。

      在選購壓電載物臺時可關(guān)注以下幾個方面:

      1、行程與精度:根據(jù)應(yīng)用需求選擇行程(納米、微米或毫米級)和定位精度(亞納米、納米或微米級)。

      2、負(fù)載能力:確認(rèn)載物臺需推動的物體重量,選擇支持相應(yīng)負(fù)載的產(chǎn)品。

      3、自由度:確定所需運動方向。例如,顯微操作可能需要XYZ三維定位。

      4、動態(tài)性能:評估響應(yīng)速度和剛度/推力。

      5、環(huán)境適應(yīng)性:根據(jù)工作環(huán)境選擇是否支持真空、無磁或特定溫度范圍。

      6、控制系統(tǒng):開環(huán)系統(tǒng)成本低、速度快,但精度受蠕變和遲滯影響;閉環(huán)系統(tǒng)通過集成傳感器實時反饋,精度更高但更復(fù)雜昂貴。 

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