壓電載物臺是一種基于壓電材料逆壓電效應(yīng)實現(xiàn)高精度、高穩(wěn)定性運動控制的精密設(shè)備,廣泛應(yīng)用于顯微操作、半導(dǎo)體檢測、光子對準(zhǔn)、原子力顯微鏡及生物細(xì)胞微操作等領(lǐng)域。其特點有:
高精度定位:位移精度高,可達納米級甚至亞納米級。
快速響應(yīng):響應(yīng)速度快,高頻響應(yīng)的壓電驅(qū)動器支持動態(tài)模式,可減少圖像失真。
無摩擦運動:采用柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu),利用彈性變形實現(xiàn)無摩擦導(dǎo)向,確保運動過程的平穩(wěn)性和重復(fù)性,無需擔(dān)心磨損和潤滑問題。
多軸運動能力:常見的設(shè)備采用多層壓電陶瓷堆疊結(jié)構(gòu),能夠在 X、Y、Z 三個方向上獨立或聯(lián)動控制,從而實現(xiàn)二維平面掃描或三維空間定位。
在選購壓電載物臺時可關(guān)注以下幾個方面:
1、行程與精度:
2、負(fù)載能力:
3、自由度:
4、動態(tài)性能:
5、環(huán)境適應(yīng)性:
6、控制系統(tǒng):開環(huán)系統(tǒng)成本低、速度快,但精度受蠕變和遲滯影響;閉環(huán)系統(tǒng)通過集成傳感器實時反饋,精度更高但更復(fù)雜昂貴。