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詳細介紹
LSxx.Lab 系列·線性位移臺
• 超安靜運動，20 kHz驅動頻率
• 極緊湊外形設計，分為35mm和 65mm 兩類
• 閉環(huán)控制·位置傳感支持光學型
• 高精度·空間傳感分辨率2 nm(默認), 0.5 nm(.adv), 50 nm(.E)可選；
• 最小步伐優(yōu)于 10 nm；
• 可提供多軸堆疊安裝轉接件；
• 控制器兼容旋轉臺，搖擺臺；
• 支持無磁(.NM), 高真空(.HV)和超高真空(.UHV)選件；
LS35x.Lab 兼顧尺寸和性能的選擇 35mm × 35mm × 12mm
LS65x.Lab 手動·光學位移臺的替代 65mm × 65mm × 13mm
LS35z.Lab z方向500 g, 能負重&能遠行 35mm × 35mm × 41mm
LS65z.Lab z方向500 g, 直驅垂直運動，低厚度，省空間 65mm × 65mm × 44mm
壓電線性位移臺，光學傳感，兼容無磁高真空——詳細參數：
LS35x.Lab
LS65x.Lab
LS35z.Lab
LS65z.Lab
壓電線性位移臺，光學傳感，兼容無磁高真空——尺寸圖：
LS35x.Lab
LS65x.Lab
LS35z.Lab
LS65z.Lab
LS65z.Lab.LR
產品咨詢
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