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詳細介紹
壓電·單維掃描運動 Sxxx.Z.C
? 緊湊型單軸Z軸方向運動，電容位置閉環(huán)控制
• Z 方向運動范圍 100-300 um；
• 外形尺寸，40 mm x 40 mm x 18 mm；
• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于1 nm (開環(huán)版本可選)；
• 最大負載 500 g；
• 支持無磁 (.NM) 和高真空 (.UHV) 選件升級；
壓電升降掃描臺，Z軸掃描運動——詳細參數：
壓電升降掃描臺，Z軸掃描運動——尺寸圖：
多場科技“壓電掃描臺·緊湊型"解決方案主要包含：
S —— 掃描標準系列；
SD —— 高動態(tài)系列；
SH —— 高負載系列。
S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運動、Z軸單維度運動、XY軸雙維度運動和XYZ軸三維度運動等應用場景，支持電容閉環(huán)傳感，可選無磁/高真空/超高真空選件升級。
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