壓電三軸并聯(lián)位移臺，三自由度，ZTT移動

壓電·三軸并聯(lián) Free3D.ZTxTy.150

? 3自由度并聯(lián)設(shè)計，空間中ZTT移動

• 由納米級驅(qū)動單元實現(xiàn)的三自由度并聯(lián)結(jié)構(gòu)，有效降低累積誤差；

• 多軸姿態(tài)同時調(diào)節(jié)、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、剛性高；

• 平動行程：Z  ±5 mm；

• 主體材料：鋁合金；

• 角擺行程：ΘX, ΘY, ±3 °, ±3 °；

• 最大垂直負(fù)載：3 kg；

• 單向重復(fù)定位精度Z：±0.15 μm；

• 單向重復(fù)定位精度ΘX, ΘY：±2.5 μrad, ±2.5 μrad；

• 最小位移Z：25 nm；

• 最小位移ΘX, ΘY：7.5 μrad, 7.5 μrad；

• 速度：1 mm/s - 10 mm/s；

• 重量：1.5 kg；

• 可提供真空環(huán)境規(guī)格；

• 集成傳感器：光學(xué)編碼器；

• 位置傳感分辨率：2 nm；

• 控制軟件：提供PC端使用軟件;

• 控制器通道：3通道輸出控制;

• 控制方式：根據(jù)用戶輸入的位移指令，實現(xiàn)對位移臺三軸空間姿態(tài)的運動調(diào)節(jié)；各驅(qū)動單元模塊通過光柵位置反饋實現(xiàn)閉環(huán)控制；通過專用軟件，實現(xiàn)對三軸并聯(lián)運動的解算，分配到各驅(qū)動單元模塊，實現(xiàn)三軸空間姿態(tài)的同時調(diào)節(jié)

壓電三軸并聯(lián)位移臺，三自由度，ZTT移動——詳細(xì)參數(shù)：

壓電三軸并聯(lián)位移臺，三自由度，ZTT移動——尺寸圖：