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      微納壓電高速掃描臺,高速掃描運動,兼容高真空

      簡要描述:SD15/30.x.C,微納壓電高速掃描臺,高速掃描運動,兼容高真空
      緊湊型 “SD系列“ 高動態系列

      • 產品型號:SD15/30.x.C
      • 廠商性質:生產廠家
      • 更新時間:2025-03-11
      • 訪  問  量:991

      詳細介紹

      壓電·高速單軸掃描運動 – SD15/30.x.C

      ? 高速掃描運動,電容閉環傳感,超高運動分辨率

       

       

      X 方向運動范圍 15 um, 30 um

      外形尺寸, 62 mm x 40 mm x 13.5 mm, 80 mm x 40 mm x 13.5 mm

      閉環定位精度優于 0.1 nm

      電容位置傳感器

      高速運動響應

      支持高真空 (.HV) ,超高真空 (.UHV) 選件升級

       

      微納壓電掃描臺,高速掃描運動,兼容高真空——詳細參數:

       

       

      微納壓電掃描臺,高速掃描運動,兼容高真空——尺寸圖

      SD15.x.C

      微納壓電掃描臺,高速掃描運動,兼容高真空

      SD30.x.C

       

      微納壓電掃描臺,高速掃描運動,兼容高真空

       

      多場科技“壓電掃描臺·緊湊型”解決方案主要包含:

      S —— 掃描標準系列;

      SD —— 高動態系列;

      SH —— 高負載系列。

      S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運動、Z軸單維度運動、XY軸雙維度運動和XYZ軸三維度運動等應用場景,支持電容閉環傳感,可選無磁/高真空/超高真空選件升級。

       

       

       

       

       

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