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      XYZ三維壓電掃描臺,高負載,兼容高真空

      簡要描述:SH30.xyz.C,XYZ三維壓電掃描臺,高負載,兼容高真空
      緊湊型 “SH 系列“ 高負載系列

      • 產品型號:SH30.xyz.C
      • 廠商性質:生產廠家
      • 更新時間:2024-06-20
      • 訪  問  量:2074

      詳細介紹

      壓電·三維掃描運動 SH30.xyz.C

      ? 針對精密光學、半導體表征等“3自由度掃描運動"需求的定制解決方案



      三維度XY掃描運動 30 um x 30 um x 15 um

      外形尺寸,160 mm x 160 mm x 35 mm

      閉環分辨率優于 0.3 nm

      最大負載10 kg

      支持高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 選件升級


      XYZ三維壓電掃描臺,高負載,兼容高真空——詳細參數:



      XYZ三維壓電掃描臺,高負載,兼容高真空——尺寸圖

      XYZ三維壓電掃描臺,高負載,兼容高真空


      多場科技“壓電掃描臺·緊湊型"解決方案主要包含:

      S —— 掃描標準系列;

      SD —— 高動態系列;

      SH —— 高負載系列。

      S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運動、Z軸單維度運動、XY軸雙維度運動和XYZ軸三維度運動等應用場景,支持電容閉環傳感,可選無磁/高真空/超高真空選件升級。







       

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